體積表面電阻率測試儀（高阻計）儀器結構組成

高阻計由核心測量模塊、電極系統、防護單元三部分構成。核心模塊包含高壓源（100V-1000V可調）、微電流放大器（分辨率達10^-15A）及數字化處理單元，采用四線制測量法消除引線誤差，電極系統分為三電極體系（主電極、保護電極、對電極）和兩電極體系，前者適用于體積電阻率測試，后者用于表面電阻率測量。防護單元包含雙層電磁屏蔽箱體、獨立接地裝置及濕度監控模塊，可將環境干擾降至0.1pA以下。

 體積表面電阻率測試儀（高阻計）操作注意事項

 1. 環境控制：維持溫度23±2℃、濕度<60%RH，避免氣流擾動。每日開機需預熱30分鐘使元件熱穩定。

 2. 校準程序：使用標準電阻箱（10^6-10^14Ω范圍）進行量程校準，每個量程需執行零點校正和滿度校正。

 3. 樣品處理：待測物表面需用異丙醇清潔，接觸面平整度誤差小于等于0.02mm。多層材料應分層測試并記錄層間接觸電阻。

 4. 測試規范：施加電壓時按10s階梯式升壓，每次測試后放電時間≥5倍測試時長。接觸壓力控制在0.5-1.0N/cm2范圍。

 5. 維護要求：每月檢查電極氧化情況，500小時使用后更換防震硅膠墊。長期停用時應保持屏蔽箱內相對濕度40%±5%。

 依據IEC 62631-3-1標準制定，通過嚴格控制接觸電阻（≤1Ω）和漏電流（<10^-12A），可將測量不確定度控制在±5%以內。操作人員須佩戴防靜電腕帶，避免直接接觸測量端子金屬部分。